[发明专利]一种用于超声扫描显微镜的高频换能器及其制备方法在审
| 申请号： | 201710683049.5 | 申请日： | 2017-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN107497654A | 公开（公告）日： | 2017-12-22 |
| 发明（设计）人： | 黄晓鹏;李俊红;张乾;任伟;廉国选;陈秋颖;何健全 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06;H01L41/04;H01L41/27 |
| 代理公司： | 北京中建联合知识产权代理事务所(普通合伙)11004 | 代理人： | 宋元松,朱丽岩 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于超声扫描显微镜的高频换能器及其制备方法，该高频换能器包括基底，设置在基底背部的吸声层及透声层，设置在基底正面的底电极、压电层及顶电极；基底背部设置有聚焦球面，透声层设置在聚焦球面上；底电极设置在基底的正面上，压电层设置在底电极与顶电极之间，压电层与顶电极之间还设置有低温隔离层。与现有技术相比，本申请结构合理，制备工艺简单，采用低温隔离层，降低了压电薄膜的针孔等缺陷，提高了压电薄膜的电阻率，降低了换能器的电容值，使高频换能器中发射电压的加载更加容易；采用吸声层结构较为彻底的吸收了导声柱聚焦球面的外反射声波，从而消除了发射声波对显微成像的干扰，提高了超声扫描显微镜的检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 超声 扫描 显微镜 高频 换能器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种用于超声扫描显微镜的高频换能器，其特征在于，包括基底(1)，设置在基底(1)背部的吸声层(6)及透声层(7)，设置在基底(1)正面的底电极(2)、压电层(4)及顶电极(3)；基底(1)背部设置有聚焦球面(8)，透声层(7)设置在聚焦球面(8)上；底电极(2)设置在基底(1)的正面上，压电层(4)设置在底电极(2)与顶电极(3)之间，压电层(4)与顶电极(3)之间还设置有低温隔离层(5)。
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