[发明专利]光配向补正设备及光配向补正调节方法在审
申请号: | 201710680845.3 | 申请日: | 2017-08-10 |
公开(公告)号: | CN107272267A | 公开(公告)日: | 2017-10-20 |
发明(设计)人: | 黄犟;王震亚;罗凯铭 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/1337 | 分类号: | G02F1/1337 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司44202 | 代理人: | 郝传鑫,熊永强 |
地址: | 430070 湖北省武汉市武*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明提供了一种光配向补正设备,包括可移动的工作平台和可移动的光源组件,玻璃基板设置于工作平台朝向光源组件的表面,光源组件位于工作平台上方,工作平台包括朝向所述光源组件的玻璃基座,玻璃基板装于玻璃基座上,玻璃基座的周缘装设有激光对射感应器,玻璃基座上每一个激光对射感应器的X、Y和Z轴方向装设有激光发生器,激光发生器按预设轨道行进,玻璃基座可相对光源组件移动,进而激光对射感应器根据接收来自激光发生器发出激光的回馈时间来检测玻璃基座的运动位置,并将检测结果输送给驱动部和第二驱动件,驱动部根据收到的检测结果调整玻璃基座的位置,第二驱动件根据收到的检测结果调整光源组件相对玻璃基座的位置。 | ||
搜索关键词: | 补正 设备 调节 方法 | ||
【主权项】:
一种光配向补正设备,用于对玻璃基板上的光配向膜配向过程中配向设备的监控,其特征在于,包括可移动的工作平台和可移动的光源组件,所述玻璃基板设置于所述工作平台朝向所述光源组件的表面,所述光源组件位于所述工作平台上方,所述工作平台包括朝向所述光源组件的玻璃基座,所述玻璃基板装于所述玻璃基座上,所述玻璃基座的周缘装设有激光对射感应器,所述玻璃基座上每一个所述激光对射感应器的X、Y和Z轴方向装设有激光发生器,所述激光发生器按预设轨道行进,所述玻璃基座可相对所述光源组件移动,进而所述激光对射感应器根据接收来自所述激光发生器发出激光的回馈时间来检测所述玻璃基座的运动位置。
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