[发明专利]一种微波等离子体系统及其波导同轴转换器在审
| 申请号： | 201710675174.1 | 申请日： | 2017-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN107331929A | 公开（公告）日： | 2017-11-07 |
| 发明（设计）人： | 高玉桥;孙效义;连海洲 | 申请（专利权）人： | 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01P5/103 | 分类号： | H01P5/103;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 200241 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微波等离子体系统的波导同轴转换器，用于连接水平安装的调谐器(3)和垂直安装的同轴线导体部件，内部具有中空腔体，所述腔体的一端具有敞开口且所述敞开口与所述调谐器(3)的输出端口连接，所述腔体安装有锥体(4)，沿所述锥体(4)轴线开有第一圆孔，同轴线内导体(5)插于所述第一圆孔中。该波导同轴转换器有效地解决了微波等离子体系统使用稳定性较差等问题。本发明还公开了一种包括上述波导同轴转换器的微波等离子体系统。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微波 等离子体 系统 及其 波导 同轴 转换器 | ||
【主权项】：
一种微波等离子体系统的波导同轴转换器，用于连接水平安装的调谐器(3)和垂直安装的同轴线导体部件，其特征在于，内部具有中空腔体，所述腔体的一端具有敞开口且所述敞开口与所述调谐器(3)的输出端口连接，所述腔体安装有锥体(4)，沿所述锥体(4)轴线开有第一圆孔，同轴线内导体(5)插于所述第一圆孔中。
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