[发明专利]一种超高速超精密空气静压电主轴主动热控制系统及其方法有效
| 申请号： | 201710670629.0 | 申请日： | 2017-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN107247471B | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 朱锟鹏;王容川;高思煜;施云高;徐林森 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | G05D23/19 | 分类号： | G05D23/19;G05B13/04 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人： | 陆丽莉;何梅生 |
| 地址： | 230031 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超高速超精密空气静压电主轴的主动热控制系统及其方法，温度传感器分别置于后径向轴承内套、内置电机定子线圈端部绕组、前径向轴承内套、左止推轴承、右止推轴承、进水口和出水口处；数据采集与处理卡和各温度传感器以及液体流量计相连；工业计算机分别连接数据采集与处理卡和工业控制器，工业控制器分别和自动循环冷水机和电磁比例阀连接；电磁比例阀和自动循环冷水机连接，进行冷却水的流量调节；并通过液体流量计时时监测冷却水的流量。本发明实现空气静压电主轴在工艺参数突变下的实时反馈精确热控制，从而满足空气静压电主轴在不同工作转速下的超精密加工需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超高速 精密 空气 静压 主轴 主动 控制系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种超高速超精密空气静压电主轴的主动热控制系统，其特征包括：若干个温度传感器、数据采集与处理卡(12)、工业计算机(13)、工业控制器(14)、自动循环冷水机(17)、电磁比例阀(21)和液体流量计(20)；其中，所述自动循环冷水机(17)自身带有水泵和散热系统；所述若干个温度传感器分别置于电主轴(23)的后径向轴承内套(1)中、内置电机定子线圈端部绕组(4)中、前径向轴承内套(6)中、左止推轴承(8)中、右止推轴承(11)中、进水口(18)和出水口(15)处；所述数据采集与处理卡(12)分别和各个温度传感器以及液体流量计(20)相连，用于采集所述电主轴(23)的温度数据和冷却水(22)的温度和流量数据并提供给所述工业计算机(13)；所述工业计算机(13)分别连接所述数据采集与处理卡(12)和所述工业控制器(14)，用于获取所述温度数据和流量数据并提供给所述工业控制器(14)；所述工业控制器(14)分别和所述自动循环冷水机(17)和电磁比例阀(21)连接，用于根据所述温度数据和流量数据控制所述冷却水(22)的自动循环和温度调节；所述电磁比例阀(21)和所述自动循环冷水机(17)连接，用于所述冷却水(22)的流量调节；在所述电磁比例阀(21)上方的进水管处设置有所述液体流量计(20)，用于实时监测冷却水(22)的流量。
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