[发明专利]显影液稀释系统

摘要

本发明提供的一种显影液稀释系统，供给管路向第一调制槽供给原液和纯水，得到初步稀释的第一显影液，将第一显影液通过第一管路流向第二调制槽，第一浓度计和第二浓度计分别测量第一显影液和第二显影液的浓度值，并输入到控制组件，由控制组件控制供给管路流入第一调制槽和第二调制槽的原液和/或纯水流量，得到进一步精确稀释的第二显影液，通过第二管路流向显影装置使用。本发明提供的一种显影液稀释系统，将显影液的稀释过程分为在第一调制槽内初步稀释和在第二调制槽内精确稀释两步，其中第二调制槽可以使用现有技术中的显影液储存容器，节约容器成本，通过流量控制系统实行自动化控制，可以大幅提高生产效率，显影液的浓度控制更方便。

主权项

一种显影液稀释系统，其特征在于，包括原液和纯水供给管路；容纳和稀释所述原液和所述纯水的第一调制槽和第二调制槽，所述第一调制槽和所述第二调制槽之间通过第一管路连接，以使所述第一调制槽中稀释得到的第一显影液通过第一管路流向所述第二调制槽；用于测量所述第一显影液浓度的第一浓度计，用于测量所述第二调制槽中稀释得到的第二显影液浓度的第二浓度计；用于控制流量的控制组件，所述控制组件用于通过所述第一浓度计和所述第二浓度计输出的浓度值控制所述供给管路流入所述第一调制槽和所述第二调制槽的所述原液和/或纯水流量，所述第二调制槽与显影装置通过第二管路连接，以使所述第二显影液流向所述显影装置。