[发明专利]一种立式低温蒸发束源炉在审
| 申请号： | 201710666503.6 | 申请日： | 2017-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN107299322A | 公开（公告）日： | 2017-10-27 |
| 发明（设计）人： | 王孟孟;张卫卫;孙朋超;朱家宽;刘杰鹏;高锦龙 | 申请（专利权）人： | 旭科新能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 杭州九洲专利事务所有限公司33101 | 代理人： | 翁霁明 |
| 地址： | 314031 浙江省嘉兴市秀洲*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种立式低温蒸发束源炉，它主要由用于盛放蒸发材料的坩埚和用于导引蒸发材料并垂直安装在坩埚上面与坩埚内部相通的喷管组成，所述的坩埚底部设置有用于给坩埚加热的坩埚加热器，喷管上、从上到下分别设置有3‑50个用于调节喷管不同位置蒸发量的喷口；所述的坩埚内部或侧壁上设置有用于测量坩埚温度的坩埚热电偶；喷管上端部加料口上配制有密封盖；所述喷管内配置有用于喷管加热的喷管加热器，并在喷管内部还安装有用于喷管内温度测量的喷管热电偶，在所述喷管的喷口上配置有用于控制蒸发范围和使喷口处于同一直线的喷座；所述坩埚的外围还配置有用于屏蔽外部环境干扰坩埚内部温度的水冷屏蔽装置；它具有结构简单，使用方便可靠特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 立式 低温 蒸发 束源炉 | ||
【主权项】：
一种立式低温蒸发束源炉，它主要由用于盛放蒸发材料的坩埚和用于导引蒸发材料并垂直安装在坩埚上面与坩埚内部相通的喷管组成，其特征在于所述的坩埚底部设置有用于给坩埚加热的坩埚加热器，所述的喷管上、从上到下分别设置有3‑50个用于调节喷管不同位置蒸发量的喷口；所述的坩埚内部或侧壁上设置有用于测量坩埚温度的坩埚热电偶。
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