[发明专利]一种基于微椭球空气腔的光纤压力传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 201710664816.8 | 申请日： | 2017-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN107300437B | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 王婷婷;沈娟;葛益娴;李志鹏 | 申请（专利权）人： | 南京信息工程大学 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 210044 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于微椭球空气腔的光纤压力传感器和一种基于微椭球空气腔的光纤压力传感器的制造方法，属于光纤压力传感器技术领域。包括单模光纤、压力敏感膜；所述单模光纤上端固定连接所述压力敏感膜下端，所述单模光纤、所述压力敏感膜连接处开设空气法布里‑珀罗腔。本发明中材质均为二氧化硅，使得本发明热膨胀系数相同，避免了不同材料高温失配造成的结构失效，温度串扰小，成本低廉；传感头制作工艺只需要熔接、切割和研磨，制作工艺简单；本装置中的共焦法布里‑珀罗腔与现有技术中腐蚀工艺或飞秒激光器制作的法布里‑珀罗腔相比，干涉腔损耗小，干涉条纹对比度高，解调精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 椭球 空气 光纤 压力传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种基于微椭球空气腔的光纤压力传感器，其特征在于，包括单模光纤、压力敏感膜；所述单模光纤上端固定连接所述压力敏感膜下端，所述单模光纤、所述压力敏感膜连接处开设空气法布里‑珀罗腔。
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