[发明专利]压电超声换能器及其制备方法有效
| 申请号： | 201710643625.3 | 申请日： | 2017-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN107511317B | 公开（公告）日： | 2020-02-18 |
| 发明（设计）人： | 朱雁青;兰晓东;童贝;李杨 | 申请（专利权）人： | 瑞声科技(新加坡)有限公司 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06 |
| 代理公司： | 广东广和律师事务所 44298 | 代理人： | 陈巍巍 |
| 地址： | 新加坡宏茂桥65*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种压电超声换能器及其制备方法，压电超声换能器包括振膜和贴设在振膜上的压电膜，振膜靠近基底方向的边缘区域设置有通电状态下可以产生焦耳热使振膜局部温度上升的电阻结构。由于振膜采用二氧化硅等杨氏模量随温度上升而减小的材料，加热会导致振膜的整体弹性系数降低，换能器的机电耦合系数增大，声压输出发生改变；另一方面，振膜振动时的谐振频率随弹性系数的降低而减小，实现了超声波输出频率的动态调整。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 超声 换能器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种压电超声换能器，包括中心设有空腔的基底、固定在所述基底上的振膜、与所述振膜相连的压电膜，所述压电膜包括靠近所述振膜的第一表面及远离所述振膜的第二表面，所述压电超声换能器还包括设置于所述第一表面的第一电极及设置于所述第二表面的第二电极，其特征在于，所述振膜靠近基底的边缘区域设置有通电状态下可以产生焦耳热使所述振膜的局部温度上升的电阻结构。
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