[发明专利]一种QCM湿度传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201710637333.9 | 申请日： | 2017-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN107290241B | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 姚尧;李蠡;魏华;黄铫 | 申请（专利权）人： | 成都信息工程大学 |
| 主分类号： | G01N5/02 | 分类号： | G01N5/02 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 韩雪 |
| 地址： | 610225 四川省成都市双*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种QCM湿度传感器，其特征在于：包括压电晶片、绝缘层、金属电极层和湿度敏感薄膜层；所述金属电极层包括第一金属电极层和第二金属电极层；所述第一金属电极层包括两个电极，分别设置于压电晶片两个面上，其中一个电极表面设有绝缘层；所述绝缘层表面上设有第二金属电极层，第二金属电极层表面设有湿度敏感薄膜层。本发明QCM湿度传感器具有双金属电极层的结构，能够达到高灵敏度检测低湿，同时能够增强传感器的稳定性，并且成本低、湿度检测范围大、灵敏度高、响应快、重复性好、制作工艺简单，可以广泛应用于低湿度检测和高精度湿度检测领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 qcm 湿度 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种QCM湿度传感器，其特征在于：包括压电晶片（1）、绝缘层（2）、金属电极层（3）和湿度敏感薄膜层（4）；所述金属电极层（3）包括第一金属电极层（31）和第二金属电极层（32）；所述第一金属电极层（31）包括两个电极，分别设置于压电晶片（1）两个面上，其中一个电极表面设有绝缘层（2）；所述绝缘层（2）表面上设有第二金属电极层（32），第二金属电极层（32）表面设有湿度敏感薄膜层（4）。
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