[发明专利]一种烘干装置及制绒机在审

专利信息
申请号: 201710618388.5 申请日: 2017-07-26
公开(公告)号: CN107356082A 公开(公告)日: 2017-11-17
发明(设计)人: 雷杰;曾志贵;张红 申请(专利权)人: 昊诚光电(太仓)有限公司
主分类号: F26B15/12 分类号: F26B15/12;F26B21/00;F26B21/12;H01L31/18;H01L21/02
代理公司: 北京连和连知识产权代理有限公司11278 代理人: 张涛
地址: 215400 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种烘干装置,包括风机、加热装置、传送轮、风刀和烘干室,其中,风机通过管路与加热装置连接,将加热装置的出口与风刀连接,风刀设置在烘干室内,烘干室的侧面对称设置有用于硅片的入口和出口的间隙,在间隙的上面和下面分别设置风刀,在间隙的下方设置有传送轮,在传送轮的上方再设置传送轮;另外设置过滤装置,并且在烘干室的上设置泄气口,泄气口上设置过滤片和止回阀;本发明的烘干效率明显提高,卡片现象减少了,增加了良品率,扩单烧焦放你个有3%降低为0.1%,大大节约了生产成本。
搜索关键词: 一种 烘干 装置 制绒机
【主权项】:
一种烘干装置,包括风机、加热装置、传送轮、风刀和烘干室,其特征在于,所述风机通过管路与所述加热装置连接,将所述加热装置的出口与所述风刀连接,所述风刀设置在所述烘干室内,所述烘干室的侧面对称设置有用于硅片的入口和出口的间隙,在间隙的上面和下面分别设置所述风刀,在间隙的下方设置有所述传送轮,在所述传送轮的上方再设置所述传送轮。
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