[发明专利]一种烘干装置及制绒机在审
申请号: | 201710618388.5 | 申请日: | 2017-07-26 |
公开(公告)号: | CN107356082A | 公开(公告)日: | 2017-11-17 |
发明(设计)人: | 雷杰;曾志贵;张红 | 申请(专利权)人: | 昊诚光电(太仓)有限公司 |
主分类号: | F26B15/12 | 分类号: | F26B15/12;F26B21/00;F26B21/12;H01L31/18;H01L21/02 |
代理公司: | 北京连和连知识产权代理有限公司11278 | 代理人: | 张涛 |
地址: | 215400 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种烘干装置,包括风机、加热装置、传送轮、风刀和烘干室,其中,风机通过管路与加热装置连接,将加热装置的出口与风刀连接,风刀设置在烘干室内,烘干室的侧面对称设置有用于硅片的入口和出口的间隙,在间隙的上面和下面分别设置风刀,在间隙的下方设置有传送轮,在传送轮的上方再设置传送轮;另外设置过滤装置,并且在烘干室的上设置泄气口,泄气口上设置过滤片和止回阀;本发明的烘干效率明显提高,卡片现象减少了,增加了良品率,扩单烧焦放你个有3%降低为0.1%,大大节约了生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 烘干 装置 制绒机 | ||
【主权项】:
一种烘干装置,包括风机、加热装置、传送轮、风刀和烘干室,其特征在于,所述风机通过管路与所述加热装置连接,将所述加热装置的出口与所述风刀连接,所述风刀设置在所述烘干室内,所述烘干室的侧面对称设置有用于硅片的入口和出口的间隙,在间隙的上面和下面分别设置所述风刀,在间隙的下方设置有所述传送轮,在所述传送轮的上方再设置所述传送轮。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昊诚光电(太仓)有限公司,未经昊诚光电(太仓)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201710618388.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种化工颜料烘干装置
- 下一篇:一种五金加工用电镀烘干装置