[发明专利]一种成膜设备在审
| 申请号： | 201710615508.6 | 申请日： | 2017-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN107345292A | 公开（公告）日： | 2017-11-14 |
| 发明（设计）人： | 卢艳 | 申请（专利权）人： | 北京芯微诺达科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/54;C23C14/34;C23C14/26;C23C14/30 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所11569 | 代理人： | 王加贵 |
| 地址： | 102200 北京市昌平区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种成膜设备，包括壳体，所述壳体的内部为成膜室，所述成膜室的上部或下部设有待生长的材料源，所述成膜室的下部或上部设有用于放置工件的工作台，所述工作台的内部设有加热设备，所述工作台由一直线运动机构驱动上下移动，所述直线运动机构由一控制器控制。本发明使材料源与工件的间距反馈可调，可以保证工件表面膜层的厚度一致性和均匀性以及膜层的物性可调性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 设备 | ||
【主权项】：
一种成膜设备，其特征在于：包括壳体，所述壳体的内部为成膜室，所述成膜室的上部或下部设有待生长的材料源，所述成膜室的下部或上部设有用于放置工件的工作台，所述工作台的内部设有加热设备，所述工作台由一直线运动机构驱动上下移动，所述直线运动机构由一控制器控制。
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