[发明专利]一种反应除杂提纯氯硅烷的工艺在审
| 申请号： | 201710615260.3 | 申请日： | 2017-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN109292780A | 公开（公告）日： | 2019-02-01 |
| 发明（设计）人： | 吕磊;马军;周舟;郄丽曼 | 申请（专利权）人： | 江苏中能硅业科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 肖明芳 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种反应除杂提纯氯硅烷的工艺，包括将液相或汽化后的氯硅烷首先通入除杂反应器，经过反应除杂处理，处理后的物料再通入精馏塔去除重组分，得到提纯后的氯硅烷；其中，所述的除杂反应器内填充氧化性无机盐。本发明不仅能够将ppb级别的硼、磷杂质进一步脱除至ppt级别，相对于物理吸附法除杂，其流程更加简单，反应器设备小巧，投资大幅度降低，并且活性物质易得且廉价，更换简易，环境友好，运行成本极低。 | ||
| 搜索关键词： | 氯硅烷 除杂反应器 除杂提纯 汽化 无机盐 反应器设备 物理吸附法 除杂处理 环境友好 活性物质 运行成本 精馏塔 磷杂质 氧化性 提纯 除杂 去除 脱除 填充 简易 投资 | ||
【主权项】：
1.一种反应除杂提纯氯硅烷的工艺，其特征在于，包括将液相或汽化后的氯硅烷首先通入除杂反应器，经过反应除杂处理，处理后的物料再通入精馏塔去除重组分，得到提纯后的氯硅烷；其中，所述的除杂反应器内填充氧化性无机盐。
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