[发明专利]通过同步主和边缘RF发生器实现预定因子的系统和方法有效
| 申请号： | 201710611474.3 | 申请日： | 2017-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN107665804B | 公开（公告）日： | 2020-03-03 |
| 发明（设计）人： | 阿列克谢·马拉霍塔诺夫;菲力克斯·科扎克维奇;迈克尔·C·凯洛格;约翰·帕特里克·霍兰德;陈志刚;肯尼思·卢凯西;赵琳 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 李献忠;张华 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及通过同步主和边缘RF发生器实现预定因子的系统和方法。描述了用于实现与等离子体室内的边缘区域相关联的预定因子的系统和方法。其中一种方法包括向等离子体室内的主电极提供RF信号。基于第一RF发生器的工作频率来生成RF信号。该方法还包括向等离子体室内的边缘电极提供另一RF信号。基于第一RF发生器的工作频率产生另一RF信号。该方法包括接收变量的第一测量值，接收变量的第二测量值，以及基于第一测量值和第二测量值来修改另一RF信号的相位。该方法包括改变与第二RF发生器相关联的变量的幅值以实现预定因子。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 同步 边缘 rf 发生器 实现 预定 因子 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种用于实现与等离子体室内的边缘区域相关联的预定因子的方法，其包括：经由第一阻抗匹配电路向所述等离子体室内的主电极提供射频(RF)信号，其中基于第一RF发生器的工作频率产生所述RF信号；经由第二阻抗匹配电路向所述等离子体室内的边缘电极提供另一RF信号，其中基于所述第一RF发生器的所述工作频率产生所述另一RF信号；接收与所述第一阻抗匹配电路的输出相关联的变量的第一测量值；接收与所述第二阻抗匹配电路的输出相关联的变量的第二测量值；基于所述第一测量值和所述第二测量值来修改所述另一RF信号的相位；以及改变与第二RF发生器相关联的变量的幅值以实现所述预定因子。
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