[发明专利]工作台以及曝光装置有效
| 申请号： | 201710610850.7 | 申请日： | 2017-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN107656425B | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 原贵之 | 申请（专利权）人： | 优志旺电机株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 徐殿军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种即使对产生了变形的工件也能够不造成工件的损伤地充分吸附并保持、即使对于不同尺寸的工件也容易应对的廉价的工作台。设置在供板状的工件W载置的工作台主体(1)的工件保持面的收缩片(3)为，包围设置有工件用真空吸附孔(21)的区域的边框状。在工件W)载置于工件保持面并利用通过工件用真空吸附孔(21)的真空吸引而被吸附时，收缩片(3)被夹在工件W与工作台主体(1)之间。收缩片(3)为沿着工件(W)的周边部延伸的形状，对应于工件(3)的变形，通过弹性在厚度方向上收缩，与工件(W)紧贴。 | ||
| 搜索关键词： | 工作台 以及 曝光 装置 | ||
【主权项】：
一种工作台，保持板状的工件，其特征在于，该工作台具备：工作台主体，在工件保持面具有工件用真空吸附孔；以及排气系统，在工件抵接在设定于工件保持面的保持位置时，对工件用真空吸附孔进行真空吸引来吸附工件，在工件保持面设置有收缩片，收缩片为在设置了工件用真空吸附孔的区域的外侧将该区域包围的形状，并且是在工件在保持位置处抵接于工件保持面时以被夹在工件与工作台主体的工件保持面之间的状态沿该工件的周边部延伸的形状，收缩片具有在与工件保持面抵接的工件被进行真空吸附时、在厚度方向上收缩而与工件紧贴的弹性所带来的柔性，收缩片以能够装拆的方式安装于工件保持面。
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