[发明专利]磨削装置有效
| 申请号： | 201710595270.5 | 申请日： | 2017-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN107650010B | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 川名守 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30;B24B37/34;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于靖帅;乔婉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种磨削装置，抑制因热膨胀导致的保持工作台的倾斜度变化，对晶片进行良好地磨削。磨削装置(1)包含：保持工作台(24)，其对晶片(W)进行保持；支承工作台(26)，其对保持工作台进行支承；电动机(90)，其使支承工作台进行旋转；框体(25)，其将支承工作台支承为能够旋转；以及至少3根支承柱(71)，它们从基台(52)对框体进行支承，在各支承柱的内部形成有：贯通孔(71c)；提供口(73a)，其将贯通孔与空气提供源(60)连通；以及排气口(72a)，其将在贯通孔中流动的空气朝向支承工作台排出，使空气在贯通孔中流动而对支承柱进行冷却，并且将在贯通孔中流动的空气朝向支承工作台排出。 | ||
| 搜索关键词： | 磨削 装置 | ||
【主权项】：
一种磨削装置，其特征在于，该磨削装置具有：基台；保持单元，其包含：保持工作台，其对晶片进行保持；支承工作台，其对该保持工作台进行支承；电动机，其使该支承工作台进行旋转；框体，其将该支承工作台支承为能够旋转；以及至少3根支承柱，它们将该框体支承在该基台上；以及磨削单元，其利用磨削磨具对保持在该保持工作台上的晶片进行磨削，该各支承柱的下端与该基台连结，该各支承柱的上端与该框体连结，该各支承柱包含：贯通孔，其贯通于内部；提供口，其配设在该贯通孔的下端侧，将该贯通孔与空气提供源连通；以及排气口，其配设在该贯通孔的上端侧，将在该贯通孔中流动的空气朝向该支承工作台排出，使空气在该贯通孔中流动而对该各支承柱进行冷却，并且将在该贯通孔中流动的空气朝向该支承工作台排出而对该支承工作台进行冷却，从而防止该支承柱和该支承工作台热变形。
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