[发明专利]一种二自由度微位移组件

摘要

本发明提供一种二自由度微位移组件，属于微动平台结构领域。本发明提供的二自由度微位移组件通过将第二零件固定在底座上，将第一零件固定在柔性机构上，通过微调柔性机构的移动部来调节第一零件与第二零件之间的相对位移，柔性机构可以采用一体化加工方式，使柔性机构中不存在传统刚性机构中运动副之间的装配间隙，整个机构无摩擦和无需润滑，避免了由于摩擦和间隙所导致的能量损耗和机械迟滞，极大地提高了机构的精度和使用寿命；柔性机构装配简单，且能大幅度提高导向精度。

主权项

1.一种二自由度微位移组件，其特征在于，包括底板、柔性机构、第一零件固定座、第二零件固定座、测微部件及位移调节部件，所述柔性机构包括移动部、弹性连接部和固定部，所述固定部与所述底板固定，所述移动部通过所述弹性连接部与所述固定部连接，并在外力作用下与所述固定部相对移动，所述底板上设有第一安装孔，所述移动部上设有第二安装孔，所述第一零件固定座包括本体和固定在所述本体上的第一固定部，所述本体安装在所述第一安装孔内，所述第一固定部用于固定所述第一零件，所述第二零件固定座安装在所述第二安装孔内，所述第二零件固定座设有第二零件安装孔，当所述移动部不受外力作用时，所述第一固定部与所述第二零件安装孔同心，所述位移调节部件用于向所述移动部施加力使所述移动部与所述固定部相对移动，所述测微部件用于测量所述移动部的位移。