[发明专利]有机材料蒸镀用掩膜板

摘要

本申请公开了一种有机材料蒸镀用掩膜板。该掩膜板包括框架和固定于框架上的至少一个掩膜；框架形成一封闭的开口，每一掩膜至少覆盖部分开口，并与框架焊接固定；框架为中空结构，框架的中空结构中设置有加热装置，用于提高框架的温度。该实施方式可以在清洗掩膜板时，利用加热装置来提高框架的温度，从而可以加速附着在掩膜板上的各种有机材料的溶解，改善清洗效果。

主权项

1.一种有机材料蒸镀用掩膜板，其特征在于，所述掩膜板包括框架和固定于所述框架上的至少一个掩膜；所述框架形成一封闭的开口，每一所述掩膜至少覆盖部分所述开口，并与所述框架焊接固定；所述框架为中空结构，所述框架的中空结构中设置有加热装置，用于提高所述框架的温度；所述框架为组合式结构；所述框架包括上半部和下半部，所述上半部中朝向所述下半部的表面形成有第一凹槽，所述下半部中朝向所述上半部的表面形成有第二凹槽，所述第一凹槽和所述第二凹槽相配合形成所述中空结构；或者所述上半部中朝向所述下半部的表面形成有凹槽，所述下半部中朝向所述上半部的表面形成有凸块，所述凹槽和所述凸块相配合形成所述中空结构。