[发明专利]用于蚀刻复合三维结构的压力吹扫蚀刻方法有效
| 申请号： | 201710589164.6 | 申请日： | 2017-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN107665803B | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 皮利翁·帕克;乔迪普·古哈 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 李献忠;张华 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于蚀刻复合三维结构的压力吹扫蚀刻方法。一种用于蚀刻衬底和去除副产物的方法包括：a)设置处理室的处理参数以用于选择性干法蚀刻处理；b)对于所述选择性干法蚀刻处理，将所述处理室的处理压强设定为在1托至10托的范围内的第一预定压强；c)在第一时间段期间相对于所述处理室中的衬底的第二膜材料选择性地蚀刻所述衬底的第一膜材料；d)将所述处理室中的压强降低到第二预定压强，所述第二预定压强比所述第一预定压强小3/4或者小更多，以及e)在所述第二预定压强下吹扫所述处理室持续第二时间段。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 蚀刻 复合 三维 结构 压力 方法 | ||
【主权项】：
一种用于蚀刻衬底和去除副产物的方法，其包括：a)设置处理室的处理参数以用于选择性干法蚀刻处理；b)对于所述选择性干法蚀刻处理，将所述处理室的处理压强设定为在1托至10托的范围内的第一预定压强；c)在第一时间段期间相对于所述处理室中的衬底的第二膜材料选择性地蚀刻所述衬底的第一膜材料；以及d)将所述处理室中的压强降低到第二预定压强，所述第二预定压强比所述第一预定压强小3/4或者小更多，以便在所述第二预定压强下吹扫所述处理室持续第二时间段。
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