[发明专利]一种微机械惯性传感器抗温漂结构有效
| 申请号： | 201710580683.6 | 申请日： | 2017-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN107144275B | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 雷龙海;周骏;王龙峰;王志;山永启 | 申请（专利权）人： | 四川知微传感技术有限公司 |
| 主分类号： | G01C21/16 | 分类号： | G01C21/16 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 郭受刚 |
| 地址： | 610000 四川省成都市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微机械惯性传感器抗温漂结构，应用于微机械惯性传感器中，所述抗温漂结构包括：三个紧固直梁和一个环形弹性连接结构，其中，三个紧固直梁的一端分别与微机械惯性传感器中的锚点连接，三个紧固直梁的另一端均与环形弹性连接结构连接，微机械惯性传感器中的双端固支梁一端与环形弹性连接结构连接，双端固支梁另一端与微机械惯性传感器中的敏感质量块连接，实现了能够从源头上抑制温度变化所导致的梁轴向应力改变，设计简单，成本较低的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微机 惯性 传感器 抗温漂 结构 | ||
【主权项】：
一种微机械惯性传感器抗温漂结构，应用于微机械惯性传感器中，其特征在于，所述抗温漂结构包括：三个紧固直梁和一个环形弹性连接结构，其中，三个紧固直梁的一端分别与微机械惯性传感器中的锚点连接，三个紧固直梁的另一端均与环形弹性连接结构连接，微机械惯性传感器中的双端固支梁一端与环形弹性连接结构连接，双端固支梁另一端与微机械惯性传感器中的敏感质量块连接。
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