[发明专利]一种光纤F-P腔式压力传感器的温度补偿方法有效
| 申请号： | 201710580155.0 | 申请日： | 2017-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN107560780B | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 苑伟政;马志波;郭雪涛;张晗 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | G01L11/02 | 分类号： | G01L11/02;G01L19/04 |
| 代理公司： | 61204 西北工业大学专利中心 | 代理人： | 吕湘连 |
| 地址： | 710072 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明属于微机电系统(MEMS)高温压力传感技术领域，涉及一种光纤F‑P腔(法布里‑帕罗干涉仪)式压力传感器的温度补偿方法。本发明针对引起光纤F‑P腔式的压力传感器测量误差的温度漂变,利用其本身未被利用的结构和测量过程中确实存在但却一直当做干扰处理的信号，通过后续温度补偿算法将测量过程中的温度因素排除，这种温度补偿方法从一定程度上可以达到降低传感器结构复杂度，用最简单、最高效的方法达到温度补偿的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 温度补偿 测量过程 光纤 压力传感器测量 温度补偿算法 传感器结构 微机电系统 压力传感器 传感技术 干扰处理 高温压力 温度因素 法布里 复杂度 干涉仪 | ||
【主权项】：
1.一种光纤F-P腔式压力传感器的温度补偿方法，其特征在于，包括以下步骤：/n步骤一：在开始高温压力测量之前，将压力传感器输出置零，后端光学解调系统记录此时刻的F-P腔上下两个表面、F-P腔下端基底结构的上下两个表面所反射的光束的相位差δ
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