[发明专利]硅穿孔电感应用于三维集成电路的电压稳压器

摘要

一种硅穿孔电感应用于三维集成电路的电压稳压器，包括并联设置的开关管T₁和开关管T₂，所述开关管T₁和开关管T₂的连接节点为第一级输入节点，所述第一级输入节点分别通过第一电感L₁和第一电阻R₁与第一级输出节点连接，所述第一级输出节点通过第一电容C₁和电流源I₁接地，所述第一级输出节点为第一级输出电压V_out1；所述第一级输出节点分别通过第二电感L₂和第一电阻R₂与第二级输出节点连接，所述第二级输出节点通过第二电容C₂和电流源I₂接地，所述第二级输出节点为第二级输出电压V_out2；所述第一电感L₁和第二电感L₂均为TSV电感。本发明纹波较小、稳压精度较高、有效适用于3D集成电路。

主权项

1.一种硅穿孔电感应用于三维集成电路的电压稳压器，其特征在于：包括并联设置的开关管T₁和开关管T₂，所述开关管T₁和开关管T₂的连接节点为第一级输入节点，所述第一级输入节点分别通过第一电感L₁和第一电阻R₁与第一级输出节点连接，所述第一级输出节点通过第一电容C₁和电流源I₁接地，所述第一级输出节点输出为第一级输出电压V_out1；所述第一级输出节点分别通过第二电感L₂和第二电阻R₂与第二级输出节点连接，所述第二级输出节点通过第二电容C₂和电流源I₂接地，所述第二级输出节点输出为第二级输出电压V_out2；所述第一电感L₁和第二电感L₂均为TSV电感；所述TSV电感为第一类型TSV电感，电感位于第一层金属层与第二层金属层之间，第二端口提供第一层输出电压，即V_out1，并且在第一层金属层电感的任何位置引出；输入开关电压和第二层输出电压即V_out2在第一端口和第三端口之间互换；第一端口位于第二层金属层，第二端口位于第一层金属层，第三端口位于第二层金属层；L₁和R₁分别表示输入开关电压与第一层输出电压之间的电感值和电阻值，L₂和R₂分别表示第一层输出电压和第二层输出电压之间的电感值和电阻值，L_m表示两个电感之间的互感。