[发明专利]一种用线光斑诱导制备大面积周期结构的方法有效
| 申请号： | 201710579434.5 | 申请日： | 2017-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN107498183B | 公开（公告）日： | 2019-11-08 |
| 发明（设计）人： | 王文君;杨慧著;姜歌东;梅雪松;潘爱飞;翟兆阳;赵勇 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | B23K26/352 | 分类号： | B23K26/352;B82Y40/00;B81C99/00 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种用线光斑诱导制备大面积周期结构的方法，先在玻璃基底上溅射功能薄膜材料；然后将玻璃基底固定在三坐标工作台上，三坐标工作台和加工光路系统配合；先调节飞秒激光器的输出激光波长，重频，脉宽，通过小孔光阑调节通光孔，衰减片调节激光功率，快门控制加工过程的进行，再通过聚焦柱面透镜使光束聚焦成线光斑；利用调节好的飞秒激光辐照功能薄膜材料，设定三坐标工作台水平X向运动速度，到达设定位置后回到加工起始点，水平Y向移动，之后于X向平行方向运动，如此反复，加工路径为一条条平行的线段，从而制作出均匀的大面积周期结构；本发明激光通过聚焦柱面镜聚焦为线光斑，减小了对功能薄膜材料的烧蚀损伤，同时提高加工效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光斑 诱导 制备 大面积 周期 结构 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用线光斑诱导制备大面积周期结构的方法，其特征在于，包括以下步骤：1)先在玻璃基底(1)上溅射一层功能薄膜材料(2)；2)将溅射有功能薄膜材料(2)的玻璃基底(1)固定在三坐标工作台(3)上，三坐标工作台(3)和加工光路系统配合，加工光路系统包括飞秒激光器(5)，飞秒激光器(5)输出的激光经过反射镜(6)反射后，再依次经过小孔光阑(7)、衰减片(8)、快门(9)和聚焦柱面镜(10)后能够垂直照射在功能薄膜材料(2)上，飞秒激光器(5)、衰减片(8)、快门(9)和三坐标工作台(3)通过与计算机(4)相连接进行控制；3)先调节飞秒激光器(5)的输出激光波长为800nm，重频1KHz，脉宽120fs，通过小孔光阑(7)调节通光孔，衰减片(8)调节激光功率，使激光功率在150‑300mw，快门(9)控制加工过程的进行，再通过焦距为75mm的聚焦柱面透镜(10)使光束聚焦成线光斑；4)利用调节好的飞秒激光辐照玻璃基底(1)上的功能薄膜材料(2)，设定三坐标工作台(3)水平X向运动速度为0.01‑0.1mm/s，到达设定位置后回到加工起始点，水平Y向移动10mm，之后于X向平行方向运动，如此反复，加工路径为一条条平行的线段，从而制作出均匀的大面积周期结构。
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