[发明专利]硫化锌的生产方法在审

专利信息
申请号: 201710572957.7 申请日: 2017-07-14
公开(公告)号: CN109250749A 公开(公告)日: 2019-01-22
发明(设计)人: 于金凤;朱刘 申请(专利权)人: 清远先导材料有限公司
主分类号: C01G9/08 分类号: C01G9/08
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 511517 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及一种硫化锌的生产方法,该生产方法包括在沉积炉内置的坩埚内放置锌原料、抽真空、升温、沉积、降温、出炉。本发明硫化锌的生产方法,因收尘及时,所制得的硫化锌不产生雾斑、雾层、花纹等缺陷,且硫化锌产品的整体厚度偏差小,产品转化率高。
搜索关键词: 硫化锌 生产 产品转化率 厚度偏差 沉积炉 抽真空 沉积 出炉 内置 收尘 雾斑 雾层 坩埚 花纹
【主权项】:
1.一种硫化锌的生产方法,该生产方法包括在沉积炉内置的坩埚内放置锌原料、抽真空、升温、沉积、降温、出炉;其特征在于:所述升温的过程为:升温至700‑800℃;升温过程中通入保护气体,保护气体的流量为2‑60L/min;所述沉积的具体过程为:700‑800℃保温沉积,沉积时间根据所装锌原料的重量进行设定;沉积过程中通入保护气体和硫化氢进入到沉积炉内,保护气体与硫化氢的体积比为15:1‑40:1,通入的保护气体将锌蒸汽带出,锌蒸汽进入到沉积炉的沉积室后与硫化氢相互反应生成硫化锌,硫化锌以一定的速率沉积;携带锌蒸汽的保护气体与锌蒸汽的摩尔比例为:50:1‑18:1,反应过程中控制锌蒸汽与硫化氢的摩尔比例为0.85:1‑1:1.5;所述降温的过程为:由沉积温度降至室温。
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