[发明专利]体声波谐振器装置有效
| 申请号： | 201710564872.4 | 申请日： | 2017-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN107623502B | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 韩成;李在昌;韩源;金泰润;金钟云;李泰京;李文喆;李泰勋;赵成珉;姜仁瑛 | 申请（专利权）人： | 三星电机株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 钱海洋;金光军 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开提供一种体声波谐振器装置，所述体声波谐振器装置包括：基板；下电极，设置在所述基板上；压电层，设置在所述下电极的部分上；上电极，设置在所述压电层上；及形状控制层，覆盖腔的边缘，所述腔设置在所述基板和所述下电极之间，其中，在所述形状控制层的形成期间，张应力被施加到所述形状控制层。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 装置 | ||
【主权项】：
一种体声波谐振器装置，包括：基板；下电极，设置在所述基板上；压电层，覆盖所述下电极的部分；上电极，设置在所述压电层上；及形状控制层，设置在腔的边缘的上方，所述腔设置在所述基板和所述下电极之间，其中，在所述形状控制层的形成期间，张应力被施加到所述形状控制层。
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