[发明专利]掩模及其制造方法有效
| 申请号： | 201710564283.6 | 申请日： | 2017-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN108118290B | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 俞明在;林玄泽;黄周焕;柳熙晟 | 申请（专利权）人： | 乐金显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C16/04 |
| 代理公司： | 11127 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李辉;刘久亮 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 掩模及其制造方法。实施方式公开了沉积掩模及其制造方法。所公开的沉积掩模可包括：沉积部分，所述沉积部分包括多个沉积图案；以及边界部分，所述边界部分包围所述沉积部分并且包括第一区域和从所述第一区域延伸的第二区域。所述边界部分可具有比所述沉积部分厚的厚度。据此，可以防止当掩模和掩模框架彼此焊接时可能出现掩模的热变形。 | ||
| 搜索关键词： | 掩模 沉积 沉积掩模 第一区域 制造 沉积图案 第二区域 掩模框架 热变形 焊接 包围 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种掩模，所述掩模包括：/n沉积部分，所述沉积部分包括多个沉积图案；/n边界部分，所述边界部分包围所述沉积部分并且包括第一区域和从所述第一区域延伸的第二区域；/n焊接线，所述焊接线被设置为在所述边界部分中包围所述沉积部分；以及/n掩模框架，所述掩模框架沿着所述焊接线接合到所述掩模的所述边界部分，/n其中，所述边界部分具有比所述沉积部分厚的厚度。/n
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