[发明专利]基于结构光与介质微球联合调制的微纳结构超分辨三维形貌检测方法在审
| 申请号： | 201710559050.7 | 申请日： | 2017-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN107388984A | 公开（公告）日： | 2017-11-24 |
| 发明（设计）人： | 周毅;唐燕;陈楚怡;邓钦元;谢仲业;田鹏;李凡星;胡松;赵立新 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明是一种基于结构光与介质微球联合调制的微纳结构超分辨三维形貌检测方法，采用白光宽光谱光源，通过空间光调制器DMD对测量光场振幅进行编码操控，同时将介质微球放置于待测物体表面。纵向上，通过压电陶瓷完成纵向高精度扫描，对CCD采集获取的一系列结构光调制图进行算法解析，寻找独立单个像素点调制度极值，实现对微纳结构的高度信息恢复。横向上，利用介质微球产生超分辨三维光场的特性，通过显微系统获取得到突破衍射极限的超分辨成像。根据所得的纵向，横向结构信息，最后整合成空间三维数据信息，实现微纳结构的超分辨三维形貌检测。本方法能在有限的数值孔径内充分获取体现物体细节成分的高频信息，同时提高纵向，横向检测分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 结构 介质 联合 调制 分辨 三维 形貌 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种基于结构光与介质微球联合调制的微纳结构超分辨三维形貌检测方法，其特征是：采用白光宽光谱光源，通过空间光调制器DMD对测量光场振幅进行编码操控，同时将介质微球放置于待测物体表面，纵向上，通过压电陶瓷完成纵向高精度扫描，对CCD(Charge‑Coupled Device)采集获取的一系列结构光调制图进行算法解析，寻找独立单个像素点调制度极值，实现对微纳结构的高度信息恢复；横向上，利用介质微球产生超分辨三维光场的特性，通过显微系统获取得到突破衍射极限的超分辨成像；根据所得的纵向，横向结构信息，最后整合成空间三维数据信息，实现微纳结构的超分辨三维形貌检测。
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