[发明专利]一种束流在线电荷极性转换装置有效
| 申请号： | 201710558948.2 | 申请日： | 2017-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN107293347B | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | 陈立华;崔保群;唐兵;马瑞刚;黄青华;马鹰俊;马燮 | 申请（专利权）人： | 中国原子能科学研究院 |
| 主分类号： | G21K1/14 | 分类号： | G21K1/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 102413 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于离子束操纵技术领域，具体涉及一种束流在线电荷极性转换装置，包括底部密封连接加热炉(3)的外筒(1)，所述外筒(1)筒壁上对称设置一对能够通过离子束流的外筒束流通道孔(6)，所述加热炉(3)用于通过加热工作介质产生工艺气体，还包括通过能够密封设置在所述外筒(1)顶部的法兰(8)设置在所述外筒(1)内的内筒(2)，所述内筒(2)底部的开口位于所述加热炉(3)顶部的开口上方，所述内筒(2)的筒壁上对称设置一对与所述外筒束流通道孔(6)相对应的、能够通过所述离子束流的内筒束流通道孔(7)。该装置能够实现工作介质的循环利用，并限制工艺气体的作用范围，提高工作介质的使用效率，降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 在线 电荷 极性 转换 装置 | ||
【主权项】：
一种束流在线电荷极性转换装置，包括底部密封连接加热炉(3)的外筒(1)，所述外筒(1)筒壁上对称设置一对能够通过离子束流的外筒束流通道孔(6)，所述加热炉(3)用于通过加热工作介质产生工艺气体，其特征是：还包括通过能够密封设置在所述外筒(1)顶部的法兰(8)设置在所述外筒(1)内的内筒(2)，所述内筒(2)底部的开口位于所述加热炉(3)顶部的开口上方，所述内筒(2)的筒壁上对称设置一对与所述外筒束流通道孔(6)相对应的、能够通过所述离子束流的内筒束流通道孔(7)。
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