[发明专利]一种提高玻璃镀铜连接强度的方法

摘要

本发明公开一种提高玻璃镀铜连接强度的方法，采用准分子激光加工使玻璃基板表面粗糙化后，可以显著提高镀层与玻璃基板之间连接强度的方法。通过改变激光加工时的参数设置对激光加工效果实现控制，使表面上产生不同微观结构阵列，然后采用三维表面形貌测量和三维参数表征处理后的玻璃表面形貌，并通过划痕试验来评估镀铜的粘附强度，有利于最大化使用激光加工能量，节省加工所用时间，控制加工效果，以达到理想的粗糙化表面，从而显著提高玻璃镀膜的质量。

主权项

一种提高玻璃镀铜连接强度的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、选取CMG玻璃基板；步骤2、将CMG玻璃基板放置在工作台上，调整工作台使准分子激光器发出的准分子激光束对准加工位置；步骤3、根据焦点位置调整CMG玻璃基板到焦平面的距离；步骤4、通过改变激光加工参数，在玻璃表面形成不同的纹理图案结构，得到不同的蚀刻深度及三维表面粗糙度特征，所述激光加工参数包含：激光重复频率、激光能量密度、衰减器位置；步骤5、将准分子激光加工好的粗糙化表面用未稀释的Decon 90清洗5分钟，并用去离子水冲洗3‑5分钟；步骤6、采用催化剂溶液激活玻璃表面并用去离子水冲洗3‑5分钟；步骤7、将经过处理的玻璃基板浸入镀铜槽浸泡10分钟，最后进行冲洗并干燥；步骤8、通过划痕试验定量检测在玻璃上镀铜的质量；步骤9、最后进行三维形貌测量，并将划痕测试结果与三维表面粗糙度参数相结合，找到镀层失效的临界负载。