[发明专利]一种提高玻璃镀铜连接强度的方法

权利要求书

1.一种提高玻璃镀铜连接强度的方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1、选取CMG玻璃基板；

步骤2、将CMG玻璃基板放置在工作台上，调整工作台使准分子激光器发出的准分子激光束对准加工位置；

步骤3、根据焦点位置调整CMG玻璃基板到焦平面的距离；

步骤4、通过改变激光加工参数，在玻璃表面形成不同的纹理图案结构，得到不同的蚀刻深度及三维表面粗糙度特征，所述激光加工参数包含：激光重复频率、激光能量密度、衰减器位置；

步骤5、将准分子激光加工好的粗糙化表面用未稀释的Decon 90清洗5分钟，并用去离子水冲洗3-5分钟；

步骤6、采用催化剂溶液激活玻璃表面并用去离子水冲洗3-5分钟；

步骤7、将经过处理的玻璃基板浸入镀铜槽浸泡10分钟，最后进行冲洗并干燥；

步骤8、通过划痕试验定量检测在玻璃上镀铜的质量；

步骤9、最后进行三维形貌测量，并将划痕测试结果与三维表面粗糙度参数相结合，找到镀层失效的临界负载。

2.如权利要求1所述的提高玻璃镀铜连接强度的方法，其特征在于，步骤1中，CMG玻璃基板的尺寸为40mm*40mm，厚度为100μm。

3.如权利要求1所述的提高玻璃镀铜连接强度的方法，其特征在于，步骤3中，CMG玻璃基板在焦平面以下2mm位置处。

4.如权利要求1所述的提高玻璃镀铜连接强度的方法，其特征在于，步骤4中，采用单一变量法，依次探究重复频率、能量密度、单位面积上的脉冲个数、衰减器位置设置不同值时对蚀刻深度、加工质量的影响；刻蚀深度取决于激光的能量密度和单位面积上的脉冲个数，并且可以通过提高能量密度、单位面积上的脉冲个数和激光脉冲重复频率来提高加工质量。

5.如权利要求1所述的提高玻璃镀铜连接强度的方法，其特征在于，固定脉冲持续时间为20ns，激光蚀刻最小的能量为140mJ，衰减器的位置为0.9。

6.如权利要求1所述的提高玻璃镀铜连接强度的方法，其特征在于，CMG玻璃对波长在193nm到308nm之间的光的吸收率大于80％，采用波长为248nm的KrF准分子激光器进行表面处理，能够有效地利用激光能量。