[发明专利]一种仿生双轴毛发传感器装置有效
| 申请号： | 201710536510.4 | 申请日： | 2017-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN107421526B | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | 杨波;郭鑫;陆城富;胡迪 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01C19/5733 | 分类号： | G01C19/5733 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 向文 |
| 地址： | 210018 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种仿生双轴毛发传感器装置，包括上层为金属铝合金毛发、中层为硅微传感器、下层为设有信号引线的玻璃衬底共三层结构，所述金属铝合金毛发粘合在硅微传感器上表面的中心位置，所述硅微传感器由底座质量块、四个摆动抑制弹性结构和四个谐振器子结构组成，所述四个谐振器子结构分别位于底座质量块四侧的镂空区域内，所述四个摆动抑制弹性结构分别位于四个谐振器子侧面的镂空区域内。本发明通过检测双端固定音叉谐振梁的固有频率的变化，计算谐振梁受到的轴向力的大小，从而实现对平面内两个方向的流速及加速度的敏感，并且具有体积小、重量轻、结构紧凑、分辨率高、精度高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 仿生 毛发 传感器 装置 | ||
【主权项】：
一种仿生双轴毛发传感器装置，其特征在于：包括上层为金属铝合金毛发、中层为硅微传感器、下层为设有信号引线的玻璃衬底共三层结构，所述金属铝合金毛发粘合在硅微传感器上表面的中心位置，所述硅微传感器由底座质量块、四个摆动抑制弹性结构和四个谐振器子结构组成，所述四个谐振器子结构分别位于底座质量块四侧的镂空区域内，所述四个摆动抑制弹性结构分别位于四个谐振器子侧面的镂空区域内，所述四个摆动抑制弹性结构和四个谐振器子结构均通过锚点键合在玻璃衬底上，所述玻璃衬底上布有信号引线，并且与硅微传感器上布置的电极相连接。
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