[发明专利]基板缺陷检査装置和缺陷检査用灵敏度参数值调整方法

摘要

本发明能够自动对检査基板的缺陷时所使用的参数值进行调整，在检査基板的缺陷时实现减少疑似缺陷的检测。对于所选择的虚拟检査用的基板的各像素值，使用供调整后使用的基准像素数据，在各像素值偏离与其位置对应的允许范围时，将偏离量和调整前的灵敏度参数值进行比较。然后，在偏离量超过该灵敏度参数值并且上述偏离量与该灵敏度参数值的差在阈值以下时，将上述偏离量更新为新的灵敏度参数值。进而，对上述过去已检査过的多个基板的图像数据依次进行该操作，并且在作为偏离量的比较对象的灵敏度参数值发生了更新时使用更新后的灵敏度参数值，将最后更新了的灵敏度参数值作为调整后的灵敏度参数。

主权项

一种基板的缺陷检査装置，其对于拍摄作为检査对象的基板的整个表面而获得的图像数据的各像素值，使用将各位置与像素值的允许范围相关联的基准像素数据，在各像素值偏离与其位置对应的所述允许范围时，将偏离量与作为偏离允许量的灵敏度参数值进行比较，在偏离量超过灵敏度参数值时，判断该基板为缺陷基板，所述基板的缺陷检査装置的特征在于，包括：基准像素数据生成部，其在进行所述灵敏度参数值的调整时，生成供调整后使用的基准像素数据；用于调整所述灵敏度参数值的灵敏度参数值调整部；和虚拟检査用基板选择部，其从在进行所述灵敏度参数值的调整时以前已检査过的多个基板中选择用于调整所述灵敏度参数值的、用于与所述基准像素数据进行比较而进行虚拟检査的虚拟检査用的多个基板，所述灵敏度参数值调整部实施：对于所选择的虚拟检査用的基板的各像素值，用所述供调整后使用的基准像素数据，在各像素值偏离与其位置对应的允许范围时，将偏离量和调整前的灵敏度参数值进行比较的步骤；在偏离量超过该灵敏度参数值并且所述偏离量与该灵敏度参数值的差在阈值以下时，将所述偏离量更新为新的灵敏度参数值的步骤；和对所述过去已检査过的多个基板的图像数据依次进行该操作，并且在作为偏离量的比较对象的灵敏度参数值发生了更新时使用更新后的灵敏度参数值，将最后更新了的灵敏度参数值作为调整后的灵敏度参数存储于存储部中的步骤。