[发明专利]形成导电粉末的方法在审
申请号: | 201710525091.4 | 申请日: | 2017-06-30 |
公开(公告)号: | CN108723389A | 公开(公告)日: | 2018-11-02 |
发明(设计)人: | 周友华;庄国胜 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | B22F9/28 | 分类号: | B22F9/28 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国 |
地址: | 中国台湾新竹市*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 形成导电粉末的方法,包含通过还原反应来使用等离子还原导电粉末前驱物气体。还原导电粉末前驱物气体来形成导电粉末。方法进一步包含基于粒度过滤导电粉末。方法进一步包含在流体中分散具有低于阀值的粒度的导电粉末的一部分。 | ||
搜索关键词: | 导电粉末 前驱物气体 等离子还原 还原反应 流体 还原 过滤 | ||
【主权项】:
1.一种形成一导电粉末的方法,其特征在于,该方法包含以下步骤:通过一还原反应来使用一等离子还原一导电粉末前驱物气体以形成该导电粉末;基于粒度过滤该导电粉末;以及在一流体中分散该导电粉末的一部分,该导电粉末的该部分具有一粒度,该导电粉末的该部分的该粒度低于一阀值。
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