[发明专利]使用叠层成像术对样本成像的方法有效
| 申请号： | 201710523546.9 | 申请日： | 2017-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN107622933B | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | E.G.T.博世;B.J.詹斯森 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/22 | 分类号： | H01J37/22 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 周学斌;张涛 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种使用叠层成像术对样本成像的方法，藉此，将带电粒子束从源引导通过照明器以便穿过样本并着陆在检测器上，与数学重建技术相结合地使用检测器的输出以便计算离开样本的带电粒子波前的至少一个性质，其中：所述性质为波前的相位；所述数学重建技术直接重建所述相位，而不是间接地从振幅和相位的重建的函数来导出所述相位。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 成像 样本 方法 | ||
【主权项】：
一种使用叠层成像术对样本成像的方法，藉此，将带电粒子束从源引导通过照明器以便穿过样本并着陆在检测器上，与数学重建技术相结合地使用检测器的输出以便计算离开样本的带电粒子波前的至少一个性质，其特征在于：‑ 所述性质为波前的相位；‑ 所述数学重建技术直接重建所述相位，而不是间接地从振幅和相位的重建的函数来导出所述相位。
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