[发明专利]一种超薄银基薄膜、多层复合透明导电薄膜及其制备方法与应用

摘要

本发明提供了一种超薄银基薄膜、多层复合透明导电薄膜及其制备方法与应用，所述超薄银基薄膜具有双层结构，包括Ag(O)层和位于Ag(O)层上且与其接触、连续的超薄Ag层；所述Ag(O)层的厚度为0.5 nm~5 nm，所述Ag层的厚度为2 nm~10 nm；在所述Ag(O)层中，氧掺杂浓度x为1%≤x≤24%。多层复合透明导电薄膜包括基底和位于所述基底上的至少一个Ag(O)/Ag双层。本发明中的超薄银基薄膜及基于其的多层复合透明导电薄膜在一定程度上弱化了薄膜整体导电性对Ag(O)层中氧掺杂浓度的过分依赖，解决了Ag(O)氧掺杂浓度不易精确控制等技术问题，得到了机械柔性好、综合光电性能更优的透明导电薄膜，且可在室温条件下制备，成本低廉，应用前景广阔。

主权项

1.一种超薄银基薄膜，其特征在于，具有双层结构，包括Ag(O)层和位于所述Ag(O)层上且与其接触、连续的Ag层；所述Ag(O)层的厚度为0.5 nm ~5 nm，所述Ag层的厚度为2 nm ~10 nm；在所述Ag(O)层中，氧掺杂浓度x为1%≤x≤24%。