[发明专利]基于光栅测量技术的一体式直线运动定位系统的制备方法在审
| 申请号： | 201710499422.1 | 申请日： | 2017-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN107121075A | 公开（公告）日： | 2017-09-01 |
| 发明（设计）人： | 刘红忠;史永胜;尹磊;陈邦道 | 申请（专利权）人： | 常州瑞丰特科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 苏州广正知识产权代理有限公司32234 | 代理人： | 张利强 |
| 地址： | 213000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于光栅测量技术的一体式直线运动定位系统的制备方法，包括以下步骤直线运动部件上光栅线纹的制造对直线运动部件表面进行研磨、抛光，然后在其表面上制作光栅线纹结构；光栅线纹保护膜涂覆在光栅线纹表面涂覆一层SiO2保护膜；紧凑型反射式光栅读数头制造使用LED光源和栅状传感器组成光电转换部分，再配以细分电路部分，组成完整的紧凑型反射式光栅读数头；光栅读数头的装配。本发明的一体式直线运动定位系统，在数控机床和测量仪器中使用时，能够免除光栅安装时繁琐复杂的调试环节，能够有效避免阿贝误差，减小测量不确定度，提高设备的定位测量精度，具有广泛的市场前景和推广应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 光栅 测量 技术 体式 直线运动 定位 系统 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于光栅测量技术的一体式直线运动定位系统的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）直线运动部件上光栅线纹的制造：对直线运动部件表面进行研磨、抛光，使其满足光栅线纹制作要求，然后在研磨、抛光后直线运动部件表面上制作光栅线纹结构；（2）光栅线纹保护膜涂覆：在光栅线纹表面涂覆一层SiO2保护膜；（3）紧凑型反射式光栅读数头制造：使用LED光源和栅状传感器组成光电转换部分，再配以细分电路部分，组成完整的紧凑型反射式光栅读数头；（4） 光栅读数头的装配：在直线运动部件的运动单元上通过安装紧凑型反射式光栅读数头，组成完整的基于光栅测量技术的一体式直线运动定位系统。
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