[发明专利]一种四自由度磁场测试装置有效
| 申请号： | 201710485717.3 | 申请日： | 2017-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN109116274B | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 贾晓亮;王凯波 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01R33/10 | 分类号： | G01R33/10;G01R33/12;G05D3/12 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种四自由度磁场测量装置，包括：龙门运动平台模块(1)、探头连杆模块(2)、旋转平台模块(3)。其中龙门运动模块(1)由三个直线运动平台连接而成，可以通过电机实现沿X、Y、Z三个方向的运动，从而准确控制探头的移动位置及坐标；探头连杆模块(2)由连杆底座、连杆、高斯探头组成。高斯探头位于连杆前端，可作360°转动，以便于测量磁场的不同分量；旋转平台模块(3)由水平平台、旋转台组成，旋转台用于固定龙门运动平台，其能够实现一定角度的旋转，从而调整磁测角度。本发明涉及磁铁测量装置，隶属于半导体制造领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自由度 磁场 测试 装置 | ||
【主权项】：
1.一种四自由度磁场测量装置，包括：龙门运动平台模块(1)、探头连杆模块(2)、旋转平台模块(3)，其特征在于：龙门运动平台可在三维空间内准确定位坐标，旋转台可准确控制探头与磁铁平行度，探头可360°旋转，易于测试磁场分量。
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