[发明专利]基于杠杆传动的位移分辨率细化微纳操作平台

摘要

本发明公开了一种基于杠杆传动的位移分辨率细化微纳操作平台，包括基体,在基体的上方位置设有杠杆机构，杠杆朝向或者背向平台运动部分一侧为厚度变化一侧，杠杆靠近基体端的两侧各设有一个压块，且两个压块的中轴线位于杠杠厚度最大处；杠杆机构靠近平台运动部分端通过连杆与平台运动部分的边沿中心位置连接；位于杠杆上方的压块其远离杠杆一侧端面所对基体部分设有容纳预紧弹簧的圆形孔，圆形孔外端面与预紧螺母配合；位于杠杆下方压块的远离杠杆一侧端面所对基体部分设有容纳压电陶瓷致动器的圆形孔，圆形孔与压电陶瓷紧固螺母配合；平台运动部分通过平台导向机构与基体连接；平台运动部分与杠杆机构相对一侧中心位置连接有位移测量机构。

主权项

1.基于杠杆传动的位移分辨率细化微纳操作平台，其特征在于，包括：基体、杠杆机构、平台运动部分、平台导向机构、位移测量机构、压电陶瓷致动器、压电陶瓷紧固螺母、预紧螺母、预紧弹簧；在所述基体的上方位置设有杠杆机构，所述杠杆机构由杠杆、压块、支撑铰链、连杆组成，所述杠杆为等强度梁设计，杠杆朝向或者背向平台运动部分一侧为厚度变化一侧，杠杆靠近基体端的两侧各设有一个压块，且两个压块的中轴线位于杠杠厚度最大处，两个压块与杠杠之间通过方形铰链连接；杠杆机构靠近平台运动部分端通过连杆与平台运动部分的边沿中心位置连接；且在杠杆机构的厚度恒定侧设有支撑铰链；位于杠杆上方的压块其远离杠杆一侧端面所对基体部分设有容纳预紧弹簧的圆形孔，所述圆形孔外端面设有内螺纹，所述内螺纹与预紧螺母配合，所述的预紧螺母预紧弹簧对压块实施一定的压力；位于杠杆下方压块的远离杠杆一侧端面所对基体部分设有容纳压电陶瓷致动器的圆形孔，所述圆形孔内设有内螺纹，所述内螺纹与压电陶瓷紧固螺母配合；所述平台运动部分四角位置通过平台导向机构与基体连接；平台运动部分与杠杆机构相对一侧中心位置连接有位移测量机构；所述位移测量机构包括夹持机构、光栅读数头、夹持块、夹持螺钉、光栅尺，所述夹持机构为C型结构，夹持机构靠近平台运动部分一侧中心位置与平台运动部分通过方形结构实现整体式连接，夹持机构中心位置容纳一个光栅尺，所述的光栅尺的两侧各设有一个夹持块，所述的夹持块通过夹持螺钉固定；光栅尺的下部设有与其配合使用的光栅读数头。