[发明专利]石英坩埚制备工艺有效
| 申请号： | 201710483566.8 | 申请日： | 2017-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN109112613B | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 杜兴林;祝立君;于宏宇;章北铭;刘应龙 | 申请（专利权）人： | 内蒙古欧晶科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 010020 内蒙古自治区呼和浩*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种新型石英坩埚制备工艺，其包括如下步骤：(1)原料准备，(2)预制前调试，(3)预制，(4)熔制前调试，(5)熔制。本发明的优点在于，通过控制熔制过程中真空阀的开闭以及熔制条件，将微气泡含量较多的气泡复合层夹在微气泡含量较少的透明层和薄气泡外层之间，既保证了石英坩埚在拉晶工作时的热源均匀的辐射，又保证了气泡复合层内的气泡在拉晶过程中不涨裂，降低了因长时间拉晶工作时石英坩埚外表面气泡膨胀破裂后与石墨坩埚的反应，延缓两者反应后析晶层形成的时间，增加石英坩埚的使用寿命，使其使用寿命增加至190小时，比常规石英坩埚寿命增加90小时以上，可以满足至少拉3‑4根单晶棒的拉晶工艺需求。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 坩埚 制备 工艺 | ||
【主权项】：
1.新型石英坩埚制备工艺，其包括如下步骤：(1)原料准备，(2)预制前调试，(3)预制，(4)熔制前调试，(5)熔制；其特征在于，通过控制所述(5)熔制过程中熔制炉的真空阀的开闭以及熔制条件，使所述(5)熔制结束后所制得的新型石英坩埚由内至外依次包括复合内层和薄气泡外层，所述复合内层由内至外依次包括透明层和气泡复合层，所述透明层和所述薄气泡外层所含微气泡含量均小于所述气泡复合层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于内蒙古欧晶科技股份有限公司，未经内蒙古欧晶科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710483566.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
