[发明专利]一种具有激光防护性能的Ag/VO2复合薄膜的制备方法

摘要

本发明属于功能薄膜技术领域，具体涉及一种具有激光防护性能的Ag/VO2复合薄膜的制备方法。本发明在VO2多晶薄膜表面涂覆具有表面等离激元共振特性的银纳米线或银纳米颗粒结构层。该工艺可以有效提高薄膜对激光的响应度以及耐激光辐射能力，其制备过程简单可控，不需要昂贵的设备，同时对VO2薄膜的尺寸、形貌无特殊要求，为VO2基激光防护薄膜提供了一种高效率、短周期、可工业化实施的新技术。

主权项

一种具有激光防护性能的Ag/VO2复合薄膜的制备方法，其特征在于该工艺包括下述步骤：1)以金属钒靶作为溅射源，在氩气条件下在洁净石英衬底上溅射100nm厚的金属钒膜，衬底温度保持在200℃；2)将一端敞口的管式退火炉进行升温，到500℃时进行保温，从炉管的非敞口端通入氮气，氮气流量保持在2L/min；3)将制备的金属钒膜放入石英坩埚中，之后将坩埚推入上述管式退火炉中进行退火，退火时间为10min，到时后拉出坩埚进行快速空气下冷却。得到所需的VO2薄膜；4)以AgNO3为银源，乙二醇为还原剂，聚乙烯吡咯烷酮为稳定剂和分散剂，利用化学还原反应得到银纳米线或银纳米颗粒产物，随后将产物离心分离并分散到乙醇中，得到浓度为0.5％的银纳米线或银纳米颗粒分散液；5)利用旋涂仪将上述银纳米线或银纳米颗粒分散液均匀涂覆于VO2薄膜表面，具体参数为先进行低速旋涂，速度为400转/分钟，旋涂时间5s，再进行高速旋涂，速度为2000转/分钟，旋涂时间30s；6)将涂覆有湿银胶膜的VO2薄膜进行烘干，随后在空气下进行250℃热处理1h定型成膜，即得到所需的Ag/VO2复合薄膜。