[发明专利]激光划线设备

摘要

本发明提供了一种能够在激光被用于切割脆性材料基板时容易地改变激光的焦距的激光划线设备。该激光划线设备包括划线头单元；以及托台，基板被装载在该托台上，其中划线头单元相对于托台移动，并且划线头单元包括透镜组件和距离测量传感器组件，所述透镜组件从激光发生设备接收切割用激光束以改变切割用激光束的焦点，所述距离测量传感器组件包括距离测量传感器并且具有光束通过单元，所述距离测量传感器包括产生测量用激光束的光发射单元和接收测量用激光束的光接收单元，在透镜组件中被控制焦距的切割用激光束经过所述光束通过单元。

主权项

一种激光划线设备，包括：划线头单元；以及托台，基板被装载在托台上，其中，划线头单元相对于托台移动，并且其中，划线头单元包括透镜组件，其从激光发生设备接收切割用激光束，以改变切割用激光束的焦点，和距离测量传感器组件，其包括距离测量传感器并且具有切割用激光束经过其中的光束通过单元，距离测量传感器包括产生测量用激光束的光发射单元和接收测量用激光束的光接收单元，切割用激光束的焦距在透镜组件中被控制。