[发明专利]一种基于扫描振镜与半导体激光器的共聚焦显微镜并行扫描装置及扫描方法

摘要

一种基于扫描振镜与半导体激光器的共聚焦显微镜并行扫描装置及扫描方法，属于共焦显微成像领域。解决了现有CCD相机受到曝光速度影响，图片采集速率较低的问题。本发明包括半导体激光器、衰减片、偏振片、准直扩束系统、第一偏振分光棱镜、扫描振镜系统、远心扫描透镜、管镜、第二偏振分光棱镜、1/4波片、物镜、第一收集透镜、光电探测器、第二收集透镜、CCD相机和控制器；通过调制共焦光路中的CCD相机曝光时间，扫描振镜系统及半导体激光器触发信号，在CCD相机的一帧图像上获取多个振镜偏转角度对应的激光光斑，实现并行扫描。本发明主要用于对样品进行扫描。

主权项

1.一种基于扫描振镜与半导体激光器的共聚焦显微镜并行扫描装置，其特征在于，该共聚焦显微镜并行扫描装置包括半导体激光器(1)、衰减片(2)、偏振片(3)、准直扩束系统(4)、第一偏振分光棱镜(5)、扫描振镜系统(6)、远心扫描透镜(7)、管镜(8)、第二偏振分光棱镜(9)、1/4波片(10)、物镜(11)、第一收集透镜(13)、光电探测器(14)、第二收集透镜(15)、CCD相机(16)和控制器(17)；控制器(17)，用于调制半导体激光器(1)的出射光，用于控制光电探测器(14)进行光电探测，用于控制CCD相机(16)的曝光时间，还用于控制扫描振镜系统(6)进行偏转；半导体激光器(1)出射的光依次经衰减片(2)、偏振片(3)和准直扩束系统(4)透射后，入射至第一偏振分光棱镜(5)，经第一偏振分光棱镜(5)反射后的光，又经第一收集透镜(13)透射后，入射至光电探测器(14)，光电探测器(14)用于探测半导体激光器(1)出射光的光强，并将探测结果发送至控制器(17)，控制器(17)根据探测结果对半导体激光器(1)输出的光进行调制；经第一偏振分光棱镜(5)透射后的激光，经扫描振镜系统(6)反射后，依次经远心扫描透镜(7)、管镜(8)、第二偏振分光棱镜(9)、1/4波片(10)和物镜(11)透射后，聚焦至样品(12)形成聚焦光斑，经样品(12)反射的光沿原入射光路返回至第二偏振分光棱镜(9)，经第二偏振分光棱镜(9)反射后，经第二收集透镜(15)透射后，入射至CCD相机(16)，CCD相机(16)用于采集样品反射的光斑图像。