[发明专利]张网装置、基台、夹具及掩膜板的夹持方法有效
| 申请号： | 201710433816.7 | 申请日： | 2017-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN107245694B | 公开（公告）日： | 2019-05-31 |
| 发明（设计）人： | 吴建鹏;杨忠英;罗昶 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/50;C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 滕一斌 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种张网装置、基台、夹具及掩膜板的夹持方法，属于显示面板制造领域。所述张网装置包括：用于承载掩膜板的基台、用于夹持所述掩膜板的夹具和设置在所述基台或所述夹具上的形变调节组件；所述形变调节组件用于在所述基台承载所述掩膜板时调节所述掩膜板凸出于所述基台的部分在重力方向上的形变量，使所述形变量小于预设形变阈值。本发明通过调节组件调节掩膜板凸出于基台的部分在重力方向上的形变量，进而使得夹具可以顺利的夹取掩膜板。本发明用于张网装置中。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 夹具 掩膜板 夹持 方法 | ||
【主权项】：
1.一种张网装置，其特征在于，包括：用于承载掩膜板的基台、用于夹持所述掩膜板的夹具和设置在所述基台或所述夹具上的形变调节组件；所述形变调节组件用于在所述基台承载所述掩膜板时调节所述掩膜板凸出于所述基台的部分在重力方向上的形变量，使所述形变量小于预设形变阈值。
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