[发明专利]采用磁控溅射和离子注入结合的制备生物传感材料的方法有效
| 申请号： | 201710429218.2 | 申请日： | 2017-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN109023270B | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 杨加志;李文萍;陈春涛;刘晓慧 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08;C23C14/48 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 薛云燕 |
| 地址： | 210094 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种采用磁控溅射和离子注入结合的制备生物传感材料的方法。该方法具体如下：玻璃基底和靶材ITO的预处理：制取玻璃基底备用，对玻璃基底和靶材ITO分别进行清洗；将预处理好的玻璃基底和靶材ITO放入磁控溅射镀膜机，采用射频溅射靶在氩气气氛中，依次控制磁溅射时间、功率、压强，将靶材ITO镀膜至玻璃基底表面并作为离子注入基底；将离子注入基底依次用砂子打磨并抛光，再用丙酮、无水乙醇超声波清洗后干燥备用；采用离子注入机进行Pt离子注入，控制注入角度、真空度、加速电压和剂量，最终得到生物传感材料。本发明制备方法简单，极大地满足了各种新型电子元器件发展的需求，尺寸更加精细，掺杂量更加精确。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 磁控溅射 离子 注入 结合 制备 生物 传感 材料 方法 | ||
【主权项】：
1.一种采用磁控溅射和离子注入结合的制备生物传感材料的方法，其特征在于，具体步骤如下：步骤1，玻璃基底和靶材ITO的预处理：制取玻璃基底备用，对玻璃基底和靶材ITO分别进行清洗；步骤2，将预处理好的玻璃基底和靶材ITO放入磁控溅射镀膜机，采用射频溅射靶在氩气气氛中，依次控制磁溅射时间、功率、压强，将靶材ITO镀膜至玻璃基底表面并作为离子注入基底；步骤3，将离子注入基底依次用砂子打磨并抛光，再用丙酮、无水乙醇超声波清洗后干燥备用；步骤4，采用离子注入机进行Pt离子注入，控制注入角度、真空度、加速电压和剂量，最终得到生物传感材料。
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