[发明专利]采用磁控溅射和离子注入结合的制备生物传感材料的方法

权利要求书

1.一种采用磁控溅射和离子注入结合的制备生物传感材料的方法，其特征在于，具体步骤如下：

步骤1，玻璃基底和靶材ITO的预处理：制取玻璃基底备用，对玻璃基底和靶材ITO分别进行清洗；

步骤2，将预处理好的玻璃基底和靶材ITO放入磁控溅射镀膜机，采用射频溅射靶在氩气气氛中，依次控制磁控溅射时间、功率、压强，将靶材ITO镀膜至玻璃基底表面并作为离子注入基底；所述磁控溅射时间为30s～180s；磁控溅射功率为20W～80W；磁控溅射压强为5Pa～20Pa；

步骤3，将离子注入基底依次用砂子打磨并抛光，再用丙酮、无水乙醇超声波清洗后干燥备用；

步骤4，采用离子注入机进行Pt离子注入，控制注入角度、真空度、加速电压和剂量，最终得到生物传感材料；所述Pt离子注入的注入角度为45°，注入时真空度为1.5×10^-3Pa，注入加速电压为10kV～30kV，注入剂量为1×10⁶icons/cm²或1×10¹⁶icons/cm²。

2.根据权利要求1所述的采用磁控溅射和离子注入结合的制备生物传感材料的方法，其特征在于，步骤1所述对玻璃基底和靶材ITO分别进行清洗，具体为：所述的玻璃基底和靶材ITO分别依次用丙酮和95％的乙醇溶液擦拭2-3次，最后用氮气吹干。

3.根据权利要求1所述的采用磁控溅射和离子注入结合的制备生物传感材料的方法，其特征在于，步骤2所述的磁控溅射时间为60s。

4.根据权利要求1所述的采用磁控溅射和离子注入结合的制备生物传感材料的方法，其特征在于，步骤2所述的磁控溅射功率为40W。

5.根据权利要求1所述的采用磁控溅射和离子注入结合的制备生物传感材料的方法，其特征在于，步骤2所述的磁控溅射压强为15Pa。

6.根据权利要求1所述的采用磁控溅射和离子注入结合的制备生物传感材料的方法，其特征在于，步骤4中所述的注入加速电压为30kV。