[发明专利]一种用于吸取蓝宝石晶片工艺的机械手装置

摘要

本发明涉及蓝宝石晶片搬运设备，旨在提供一种用于吸取蓝宝石晶片工艺的机械手装置。该种用于吸取蓝宝石晶片工艺的机械手装置同步带轮组、丝杆模组、丝杆模组安装板、丝杆模组滑块连接座、同步带轮轴Ⅱ、同步带轮轴Ⅰ、齿轮、齿条、齿条安装板、小轴、皮带夹紧块、导轨滑块、导轨滑块安装板、吸盘安装座、晶片吸盘，能搬运晶片。本发明在晶片需要从晶舟盒中搬运到另一个平台的过程中，不需要人触碰到晶片，机械手晶片吸盘，在一个狭小的空间自动吸取蓝宝石晶片，整个的行程可以扩大一倍甚至更多。

主权项

1.一种用于吸取蓝宝石晶片工艺的机械手装置，能搬运晶片，其特征在于，所述用于吸取蓝宝石晶片工艺的机械手装置包括主电机、同步带轮组、丝杆模组、丝杆模组安装板、丝杆模组滑块连接座、同步带轮轴Ⅱ、同步带轮轴Ⅰ、齿轮、齿条、齿条安装板、小轴、皮带夹紧块、导轨滑块、导轨滑块安装板、吸盘安装座、晶片吸盘；所述同步带轮组包括主动轮、同步带、从动轮，主动轮与从动轮通过同步带连接；同步带轮组设有三组，分别为同步带轮组Ⅰ、同步带轮组Ⅱ、同步带轮组Ⅲ；所述丝杆模组和主电机通过同步带轮组Ⅰ连接，主电机能驱动丝杆模组的丝杆旋转，进而丝杆模组的丝杆滑块能随着丝杆的旋转前后运动；丝杆模组的一端通过丝杆模组安装板固定在平台上，丝杆模组的另一端丝杆滑块与丝杆模组滑块连接座连接，进而控制丝杆模组滑块连接座的前后运动；所述导轨滑块安装板安装在丝杆模组滑块连接座上，并确保导轨滑块安装板上的导轨安装面和丝杆模组滑块连接座上的导轨安装面在同一个平面，所述导轨滑块安装在导轨滑块安装板和丝杆模组滑块连接座的导轨安装面上；所述吸盘安装座安装在导轨滑块的滑块安装面连接，使吸盘安装座能随着导轨滑块的移动前后运动，所述晶片吸盘安装在吸盘安装座上；吸盘安装座通过皮带夹紧块与同步带轮组Ⅲ连接，使得在同步带轮旋转的时候，能够带动晶片吸盘向前和向后伸缩；所述同步带轮轴Ⅱ的一端与同步带轮组Ⅱ的主动轮连接，另一端与齿轮连接，同步带轮轴Ⅱ通过丝杆模组的轴承与丝杆模组滑块连接座连接，使齿轮转动能带动同步带轮组Ⅱ的主动轮转动，进而同步带轮组Ⅱ的主动轮带动同步带轮组Ⅱ的从动轮转动；所述同步带轮轴Ⅰ的一端与同步带轮组Ⅱ的从动轮连接，另一端与同步带轮组Ⅲ的主动轮连接，同步带轮轴Ⅰ通过丝杆模组的轴承与丝杆模组滑块连接座连接，使同步带轮组Ⅱ的从动轮的旋转能带动同步带轮组Ⅲ的主动轮转动，驱动同步带轮组Ⅲ的皮带前后运动；所述同步带轮组Ⅲ的主动轮连接在同步带轮轴Ⅰ的一端，同步带轮组Ⅲ的从动轮通过小轴固定在丝杆模组的固定块上，所述固定块固定在导轨滑块安装板上；所述皮带夹紧块与同步带轮组Ⅲ的同步带夹紧，皮带夹紧块的安装面与吸盘安装座固定，使吸盘安装座、晶片吸盘能与同步带轮组Ⅲ的同步带同步运动；所述齿条安装板的一端安装齿条，另一端固定在平台上，并保证齿条和齿轮啮合。