[发明专利]一种金属/聚合物复合三维微纳米结构的制备方法

摘要

本发明公开了一种金属/聚合物复合三维微纳米结构的制备方法，属于微纳米加工技术领域。所述方法包括在基底A上旋涂牺牲层，在牺牲层上旋涂非水溶性聚合物薄膜，形成双层聚合物薄膜；在双层聚合物薄膜的非水溶性聚合物薄膜上制备金属微纳米图案；将牺牲层溶解掉形成无支撑的独立薄膜；用基底B承接漂浮着的独立薄膜，形成复杂的金属/聚合物微纳米结构。通过上述方法制备得到的金属/聚合物微纳米结构分辨率可以达到纳米级别，十分适于低成本、大面积的三维立体结构加工。

主权项

一种金属/聚合物复合三维微纳米结构的制备方法，其特征在于：采用具有微纳米尺度的几何形状的基底B承接具有金属微纳米图案的独立薄膜形成金属/聚合物复合三维微纳米结构；具体包括以下步骤，(1)双层聚合物薄膜的制备：在基底A上旋涂水溶性聚合物薄膜作为牺牲层，然后在牺牲层上旋涂非水溶性聚合物薄膜，形成双层聚合物薄膜；(2)在双层聚合物薄膜的非水溶性聚合物薄膜一侧制备金属微纳米图案；所述的金属微纳米图案可以采用光刻技术、扫描电子束刻蚀或软刻蚀等技术制备。(3)传递印刷过程：将带有金属微纳米图案的双层聚合物薄膜置于去离子水或乙醇等液体中，在非水溶性聚合物薄膜下层的作为牺牲层的水溶性聚合物薄膜被去离子水溶解掉，使得带有金属微纳米图案的非水溶性聚合物薄膜脱离基底A浮于液体表面，形成无支撑的独立薄膜；将基底B置于液体中去承接漂浮着的独立薄膜，由于毛细力的作用，所述的独立薄膜会随着液体蒸发逐渐贴合于基底B的表面；所述的基底B表面具有微纳米尺度的几何形状；(4)用等离子体刻蚀或反应离子刻蚀的方法除去基底B未有金属微纳米图案结构覆盖的聚合物，得到金属/聚合物微纳米结构。