[发明专利]基于石墨烯微带线行波电极的环形谐振腔光调制器有效
| 申请号： | 201710409660.9 | 申请日： | 2017-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN106990563B | 公开（公告）日： | 2019-07-05 |
| 发明（设计）人： | 陆荣国;叶胜威;刘天良;夏瑞杰;陈德军;张尚剑;刘永 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G02F1/03 | 分类号： | G02F1/03;G02F1/035 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 徐金琼;刘东 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于石墨烯微带线行波电极的环形谐振腔光调制器，属于光电子技术领域，解决现有技术中基于石墨烯光调制器受限于集总电极结构的较大RC常数，造成调制带宽比较小的问题，提供了一种基于石墨烯微带线行波电极的环形谐振腔光调制器。本发明包括衬底层，设置在衬底层表面上的条形光波导、环形光波导，所述条形光波导将衬底层表面分为两部分，所述环形光波导设置在条形光波导一侧上，所述条形光波导的两侧，衬底层表面上设置有第一电介质填充层和第二电介质填充层，所述环形光波导上设置有微带线行波电极结构，本发明用于实现光调制速率。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 石墨 微带 行波 电极 环形 谐振腔 调制器 | ||
【主权项】：
1.一种基于石墨烯微带线行波电极的环形谐振腔光调制器，其特征在于：包括衬底层(1)，设置在衬底层(1)表面上的条形光波导(2)、环形光波导(3)和电介质填充层，所述环形光波导(3)位于条形光波导(2)的一侧，所述环形光波导(3)上设置有微带线行波电极结构，所述微带线行波电极结构包括从下到上依次设置在环形光波导(3)上的第一石墨烯微带线(5)和第二石墨烯微带线(7)，隔离环形光波导(3)、第一石墨烯微带线(5)和第二石墨烯微带线(7)的电介质层(9)，与第一石墨烯微带线(5)相连接的第一电极(61)和第二电极(62)，第二石墨烯微带线(7)上连接的第一接地电极(81)、第二接地电极(82)、第三接地电极(83)和第四接地电极(84)分别设置在第一电极(61)和第二电极(62)的左右两侧。
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