[发明专利]基于条形光波导的石墨烯微带线行波吸收型光调制器有效
| 申请号： | 201710409117.9 | 申请日： | 2017-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN106980189B | 公开（公告）日： | 2019-07-16 |
| 发明（设计）人： | 陆荣国;叶胜威;刘天良;夏瑞杰;陈德军;张尚剑;刘永 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G02F1/035 | 分类号： | G02F1/035;G02F1/03 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 徐金琼;刘东 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于条形光波导的石墨烯微带线行波吸收型光调制器，解决现有技术中基于石墨烯光调制器受限于集总电极结构的较大RC常数，造成调制带宽比较小的问题，属于光电子技术领域。本发明包括衬底层，设置在衬底层表面上的条形光波导和电介质填充层，设置在条形光波导上的微带线行波电极结构。本发明用于实现光调制速率。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 条形 波导 石墨 微带 行波 吸收 调制器 | ||
【主权项】：
1.一种基于条形光波导的石墨烯微带线行波吸收型光调制器，其特征在于，包括衬底层(1)，设置在衬底层(1)表面上的条形光波导(2)和电介质填充层，设置在条形光波导(2)上的微带线行波电极结构；微带线行波电极结构包括从下到上在条形光波导(2)上依次设置的第一石墨烯微带线(5)和第二石墨烯微带线(6)，隔离条形光波导(2)、第一石墨烯微带线(5)和第二石墨烯微带线(6)的电介质隔离层，第一石墨烯微带线(5)上连接的第一电极(71)和第二电极(72)，第二石墨烯微带线(6)分别在第一电极(71)和第二电极(72)的两侧延伸出来连接第一接地电极(81)、第二接地电极(82)和第三接地电极(83)、第四接地电极(84)；所述第一接地电极(81)、第二接地电极(82)在第一电极(71)的两侧，共同构成GSG电极结构；第三接地电极(83)、第四接地电极(84)在第二电极(72)的两侧，共同构成GSG电极结构。
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