[发明专利]蚀刻液在审
| 申请号： | 201710388257.2 | 申请日： | 2017-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN107446582A | 公开（公告）日： | 2017-12-08 |
| 发明（设计）人： | 吉崎了;向喜广 | 申请（专利权）人： | 长濑化成株式会社 |
| 主分类号： | C09K13/06 | 分类号： | C09K13/06;H01L21/3213 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人： | 庞东成,张志楠 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蚀刻液，该蚀刻液对铟的溶解度大，可抑制草酸与铟的盐的析出，能够长期使用，并且残渣除去性和消泡性也优异，适用于氧化铟系膜的蚀刻。本发明的蚀刻液的特征在于，其含有(A)草酸、(B)聚乙烯吡咯烷酮以及(C)水，被用于氧化铟系膜的蚀刻。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 | ||
【主权项】：
一种蚀刻液，其特征在于，该蚀刻液含有(A)草酸、(B)聚乙烯吡咯烷酮以及(C)水，被用于氧化铟系膜的蚀刻。
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