[发明专利]一种改进型的离子束垂直角度测量方法有效
| 申请号： | 201710383019.2 | 申请日： | 2017-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN108931808B | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 岳腾 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01T1/29 | 分类号： | G01T1/29 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种改进型的离子束垂直角度测量方法，在原来的硬件平台包括检测光栏阵列(1)和法拉第杯(2)基础上，对软件的数据拟合和角度计算算法做了升级，使得结果更加精确，重复性更好。说明书给出了改进后的程序的算法及流程。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改进型 离子束 垂直 角度 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种改进型的离子束垂直角度测量方法，在原来的硬件平台包括检测光栏阵列(1)和法拉第杯(2)基础上，对软件的数据拟合和角度计算算法做了升级，使得结果更加精确，重复性更好。
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